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在使用四點共線探測技術時,其中兩個探針用於連接電流源,另兩個探針用於測量光伏材料的電壓降。在已知光伏材料厚度的情況下,體積電阻率(ρ)可以根據下列公式計算:
ρ=(π/ln2)(V/I)(tk)
其中,ρ是體積電阻率,單位是Ωcm;V是測得的電壓,單位是V;I是源電流,單位是A;t是樣本厚度,單位是cm;k是校正係數,取決於探針與晶圓直徑的比例,以及晶圓厚度與探針間距的比例。
另外,范德堡方法利用平板四週4個小觸點載入電流並測量產生的電壓,待測平板可以是厚度均勻任意形狀的光伏材料樣本。這種方法需要測量8個電壓。測量V1 到 V8是圍繞材料樣本的四週進行的,如圖7所示。
| 圖7 范德堡電阻率常用測量方法 |
按照下列公式可以利用上述8個測量結果計算出兩個電阻率的值:
ρA=(π/ln2)(fAts)[(V1–V2+V3–V4)/4I]
ρB=(π/ln2)(fBts)[(V5–V6+V7–V8)/4I]
其中,ρA和ρB分別是兩個體積電阻率的值;ts是樣本厚度,單位是cm;V1–V8是測得的電壓,單位是V;I是流過光伏材料樣品的電流,單位是A;fA和fB是基於樣本對稱性的幾何係數,它們與兩個電阻比值QA和QB相關,如下所示:
QA=(V1–V2)/(V3–V4)
QB=(V5–V6)/(V7–V8)
當已知ρA和ρB的值時,可以根據下列公式計算出平均電阻率(ρAVG):
ρAVG=(ρA+ρB)/2
高電阻率測量中的誤差可能來自多個方面,包括靜電干擾、漏電流、溫度和載流子注入。當把某個帶電物體拿到樣本附近時就會產生靜電干擾。要想最大限度減少這些影響,應該對樣本進行適當的遮罩以避免外部電荷。這種遮罩可以用導電材料製作,通過將遮罩層連接到測量儀器的低電勢端進行正確的接地。電壓測量中還應該使用低噪音遮罩線纜。漏電流會影響高電阻樣本的測量精度。漏電流來自線纜、探針和測試夾具,通過使用高品質絕緣體,最大限度降低濕度,啟用防護式測量,包括使用三軸線纜等方式可以盡量減少漏電流。
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