中國掌握高純度矽烷大規模生產技術 年產600噸

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12月21日，記者從上海交通大學獲悉，由該校教授肖文德領銜研發的具有自主知識產權的矽烷大規模生產新技術600噸/年中試生產項目，在河南平煤神馬集團試車成功，並已連續穩定生產出純度大於99.9999%的高品質矽烷產品。該項目的成功標誌著高純度矽烷大規模生產技術獲得突破。

據了解，我國電子和大規模集成電路行業的芯片進口總額去年高達2300億美元。其中，一個重要原因是缺乏高純度晶體矽材料，而生產高純晶體矽必須以高純矽烷為基礎。此次研究人員以化學反應工程的熱門和前沿技術--多功能反應器為基礎，創新性地提出了基於三氯氫矽的矽烷生產技術。今年9月建成的中試裝置，一次性試車成功。

近日，河南省委書記郭庚茂、副省長張維寧等到項目現場考察調研，對矽烷法制備多晶矽技術產業化的模式創新給予高度肯定。

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