ASML 的 EUV 光刻機終於要賣給中國了!

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日前，全球光刻巨頭ASML(阿斯麥)正式澄清，EUV要進口到中國大陸完全沒有任何問題!2019年，中國大陸或將迎來首台EUV光刻機。

眾所周知，芯片是電子產品所必不可少的組件，芯片制造商要想成功地制造出芯片來，必須用到光刻機。對芯片制造商來說，光刻機就是核心的生產設備。

目前，全球僅有極少數的光刻機設備廠商能夠研制出高端光刻機，而荷蘭的ASML則擁有全球晶圓廠光刻機設備高達8成的市場份額，在乾式曝光機、浸潤式光刻機， EUV(極紫外線光刻機)的市場幾乎處於獨霸地位，台積電、三星、英特爾等國際半導體巨頭都是其客戶。

在國內，一直流傳著一種聲音....受西方《瓦森納協議》的限制，中國只能買到 ASML的中低端產品，出價再高，也無法購得ASML的高端設備。甚至還有人認為，台積電、三星等在制程上之所以大幅領先中芯國際，主要是因為ASML最先進的光刻機對大陸禁售。

什麽是瓦森納協議?

1996年7月，以西方國家為主的33個國家在奧地利維也納簽署了《瓦森納協議》(簡稱“瓦協” Wassenaar Arrangement)，決定從1996年11月1日起實施新的控制清單和信息交換規則。與“巴統”一樣，“瓦協”同樣包含兩份控制清單:一份是軍民兩用商品和技術清單，涵蓋了先進材料、材料處理、電子器件、計算機、電信與信息安全、傳感與激光、導航與航空電子儀器、船舶與海事設備、推進系統等9大類;另一份是軍品清單，涵蓋了各類武器彈藥、設備及作戰平台等共22類。中國同樣在被禁運國家之列。

歐盟實施《瓦森納協定》，主要體現於2000年6月歐盟理事會通過的“1334號法令”。該法令詳細列舉了軍民兩用品和技術清單，以及武器清單，其基本內容與“瓦協”的清單沒有太大差別。在軍民兩用品和技術清單方面，該法令涉及到核材料、技術與設備;新材料、化學品、“微生物和有毒物品”;材料處理;電子;計算機;電信和“信息安全”，傳感和激光;導航與電子;船舶;推進系統、航天器及其相關設備等共10大類。這項法令後來經過多次修訂，目前成為對華高科技出口管制的主要“指導性文件”。

中美兩國雖然在能源、環境、可持續發展等領域科技合作比較活躍，但是在航空、航天、信息、生物技術等高技術領域幾乎沒有合作。中歐高技術合作受制於美國。由於美國是全球唯一的超級大國，歐盟及其成員國在各方面都會受制於美國，特別是在中歐高技術領域的合作，而《瓦森納協議》正是歐美共同戰略利益和政治理念的鮮明體現。2004年，捷克政府曾批准捷克武器出口公司向我國出售10部總價值為5570萬美元的“維拉”雷達系統，但在美國的壓力下，取消了這一合同。2006年，我國與意大利阿萊尼亞空間公司曾簽署了發射意衛星的合作協議，但由於美國的干預，意方不惜經濟和信譽損失而最終取消了合作協議。作為《瓦森納協議》成員國之一的日本，出於政治和經濟的需要，也一直對中日兩國高技術合作與交流持消極、謹慎的態度。日本與我國的高技術合作項目很少，而影響力大的合作項目就更少。半導體領域，受限於《瓦森納協議》，從芯片設計、生產等多個領域，中國都不能獲取到國外的最新科技。

那麽， ASML的EUV光刻機真的對大陸禁售?到底是受產量限制，還是相傳受到國際條約《瓦森納協議》的制約?

近日， ASML中國區總裁金泳璇在接受媒體( DIGITIMES )採訪時正式澄清， ASML對大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單， EUV要進口到中國完全沒有任何問題。在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個月。

他還透露，目前已有大陸晶圓廠巨頭與ASML展開7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首台EUV可望落地。

值得一提的是，中芯國際正好在今年3月宣誓進軍7納米，還表示已和ASML達成合作。由此看來， ASML所說的“大陸晶圓廠巨頭”應是中芯國際無疑了!

作為集成電路制造過程中最核心的設備，光刻機至關重要，芯片廠商想要提升工藝制程，沒有它萬萬不行，中國半導體工藝為啥提升不上去，光刻機被禁售是一個主要因素。

不過，如果這家芯片代工廠採用EUV光刻技術，所用生產時長將會大幅縮短，並且產品良率也會提高很多。 EUV最大的優點就是20多天即可出廠，而用其他工藝則要80多天。

所以說，大規模量產必須要用到EUV 。而且，沒有EUV光刻機，大陸晶圓代工廠在7納米之戰中毫無勝算!

雪花新聞